[发明专利]晶体硅太阳能电池气体动态扩散装置

权利要求书

1.一种晶体硅太阳能电池气体动态扩散装置，包括石英管（1），石英管（1）上设有进气管（2）、出气管（3），石英管（1）内设有放置硅片（5）的石英舟（4），其特征是：所述石英管（1）内设有固定石英舟（4）的支撑台（7），支撑台（7）放置在一横向螺杆（9）上，横向螺杆（9）横向穿过石英管（1），横向螺杆（9）的外端通过齿轮箱（11）连接有步进电机（12），横向螺杆（9）上设有位于支撑台（7）两侧的限位块（9-1）；所述支撑台（7）的底端面支撑有穿过石英管（1）的纵向螺杆（10），纵向螺杆（10）的外端通过齿轮箱（11）连接步进电机（12），所述齿轮箱（11）、步进电机（12）均固定在固定架（13）上。

2.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池气体动态扩散装置，其特征是：所述支撑台（7）的中间设有凹槽（7-1），该凹槽（7-1）内设有输送石英舟（4）的送舟浆（8）。

3.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池气体动态扩散装置，其特征是：所述纵向螺杆（10）的顶端设有支撑板（14），支撑板（14）上设有便于支撑台（7）左右移动的滚动辊（15）。

4.根据权利要求3所述的晶体硅太阳能电池气体动态扩散装置，其特征是：所述横向螺杆（9）、纵向螺杆（10）均有两根，分别置于支撑台（7）的两端。

5.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池气体动态扩散装置，其特征是：所述石英舟（4）移动的距离小于35mm。

6.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池气体动态扩散装置，其特征是：所述石英舟（4）移动的方向与进气管（2）所排入气体的方向相平行。