[发明专利]一种测试透射光栅绝对衍射效率的方法无效
| 申请号： | 201210026286.1 | 申请日： | 2012-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN103245487A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 谢常青;洪梅华;朱效立;李冬梅;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测试透射光栅绝对衍射效率的方法，该方法通过切换透射光栅和镂空窗口测试衍射光强和入射光强，并计算衍射光强与入射光强度之比得透射光栅的绝对衍射效率。相对于现有测试方法，本发明在测试时操作和控制简单、方便，特别是在极紫外或者X射线衍射实验中，需要在真空的环境下进行实验，进行较复杂的操作比较困难；本发明测试得到的光强同时性比较好，由于同步辐射装置提供的光源强度会随时间发生变化，绝对衍射效率需要测试同一时刻的光强比值，本发明中窗口与光栅距离近，切换方便，使得切换前后的光强尽量接近相同；由于窗口和光栅在同一支撑结构上，制造过程和方法相同，可以保证窗口和光栅的面积大小相同，准确测得入射光强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 透射 光栅 绝对 衍射 效率 方法 | ||
【主权项】：
一种测试透射光栅绝对衍射效率的方法，该方法通过切换透射光栅和镂空窗口测试衍射光强和入射光强，并计算衍射光强与入射光强度之比得透射光栅的绝对衍射效率。
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