[发明专利]复杂的带穿孔的微机械部件有效
| 申请号： | 201210024520.7 | 申请日： | 2012-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN102627254A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | P·卡森;D·理查德;P·杜博瓦 | 申请（专利权）人： | 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 高美艳;吴鹏 |
| 地址： | 瑞士勒*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在单块材料上制造微机械部件(11，31，41)的方法。根据本发明，所述方法包括以下步骤：a)形成衬底(1，21)，该衬底包括用于待制造的所述微机械部件的凹腔(3，23)；b)在所述衬底(1，21)的一部分上形成牺牲层(5，25)；c)在所述衬底(1，21)上沉积用于形成萌发点的颗粒(6，26)；d)移走所述牺牲层(5，25)，以选择性地使所述衬底(1，21)的一部分没有任何颗粒(6，26)；e)通过化学气相沉积沉积第一材料(7，27)层，使得所述第一材料只在所述颗粒(6，26)保留的地方沉积；f)移走衬底(1，21)，以释放在所述凹腔中形成的微机械部件(11，31，41)。 | ||
| 搜索关键词： | 复杂 穿孔 微机 部件 | ||
【主权项】：
一种在单块材料上制造微机械部件(11，31，41)的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：a)形成衬底(1，21)，该衬底包括用于待制造的所述微机械部件的凹腔(3，23)；b)在所述衬底(1，21)的一部分上形成牺牲层(5，25)；c)在所述衬底(1，21)上沉积用于形成萌发点的颗粒(6，26)；d)移走所述牺牲层(5，25)，以选择性地使所述衬底(1，21)的一部分没有任何颗粒(6，26)；e)通过化学气相沉积沉积第一材料(7，27)层，使得所述第一材料只在所述颗粒(6，26)保留的地方沉积；f)移走所述衬底(1，21)，以释放在所述凹腔中形成的所述微机械部件(11，31，41)。
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