[发明专利]真空泵有效

专利信息
申请号: 201210022327.X 申请日: 2012-02-01
公开(公告)号: CN102628441A 公开(公告)日: 2012-08-08
发明(设计)人: 宫田一哉;田边优作;上原崇介;中村静雄 申请(专利权)人: ULVAC机工株式会社
主分类号: F04C18/14 分类号: F04C18/14;F04C25/02;F04C29/02;F04C29/00
代理公司: 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 代理人: 张颖玲;武晨燕
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种可确保齿轮机构的稳定润滑的真空泵。所述真空泵具备泵部、驱动部、旋转传动部、以及限制构件。所述泵部具有转子、以及容纳所述转子的泵室。所述驱动部具有:驱动机构,其使所述转子旋转;马达室,其容纳所述驱动机构;以及,第一排气通道,其使所述泵室与马达室连通。所述旋转传动部具有:同步齿轮,其使所述转子与转子同步旋转;齿轮室,其容纳所述同步齿轮,并可贮存润滑油;以及,第二排气通道,其使所述马达室与齿轮室连通。所述限制构件设置于所述第二排气通道中,具有限制所述润滑油从所述齿轮室向所述马达室流动的限制部。
搜索关键词: 真空泵
【主权项】:
一种真空泵,其特征在于,该真空泵具备:泵部,具有:可在第一方向上旋转的第一转子;可在与所述第一方向相反的第二方向上旋转的第二转子,所述第二转子配置于所述第一转子的附近;以及,容纳所述第一转子和所述第二转子的第一室;驱动部,具有:使所述第一转子旋转的驱动机构;容纳所述驱动机构的第二室;以及,使所述第一室与所述第二室连通的第一排气通道;旋转传动部,具有:使所述第一转子与第二转子同步旋转的齿轮机构;可容纳所述齿轮机构并可贮存润滑所述齿轮机构的润滑油的第三室;以及,使所述第三室与所述第二室或第一室连通的第二排气通道;限制构件,其设置于所述第二排气通道中,并具有限制所述润滑油从所述第三室向所述第二室流动的限制部。
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