[发明专利]真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种被称为机械助力泵或罗茨真空泵的真空泵。

背景技术

机械助力泵是一种变容式真空泵，其通过使配置于壳体内的两个椭圆形转子相互以相反方向同步旋转来从吸气口将气体移动到排气口。机械助力泵由于两个转子之间以及各转子与壳体之间不接触，因此机械性损失非常少，例如，与油封旋转式真空泵之类的摩擦工作较大的真空泵相比，具有可以减少驱动所需的能量这一优点。

机械助力泵由于容纳两个转子的泵室内无需润滑油，因此因油而引起的真空的污染较少。另一方面，在泵的运转上，由于需要始终正确维持两个转子的旋转相位或各转子的轴中心，因此对于用于使各转子同步旋转的齿轮、支撑各转子的旋转轴的轴承需要进行润滑。因此，事先在容纳所述齿轮的齿轮室中贮存润滑油，从而在运转时对各部位进行润滑(例如，参照下述专利文献1)。

并且，机械助力泵中，邻接泵室，配置有容纳所述齿轮的齿轮室以及容纳使所述一个转子旋转的驱动轴的驱动室。为了提高泵室内的密封性，齿轮室以及驱动室分别与泵室连通，由此，在泵的工作过程中，各室内的压力均匀化。

例如下述专利文献2中，记载有一种旋转式真空泵的润滑室排气装置，所述装置具备：泵室，其容纳一对转子；第一润滑室，其容纳使各转子同步旋转的齿轮；以及，以可自由旋转地支撑转子轴的第二润滑室。该真空泵具有：设置在第一润滑室与第二润滑之间的排气用第一通道、以及设置在第二润滑室和泵室之间的第二通道。由此，使第一润滑室内的油不直接向泵室流出，防止因泵室内的油而引起的污染。

[先前技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特开平6-185483号公报

[专利文献2]日本特开平5-187375号公报

发明内容

然而，在所述专利文献2所记载的真空泵中，尤其是泵启动时，存在如下问题：到达排气通道的润滑油无法从该排气通道返回至第一润滑室侧，从而使得第一润滑内的润滑油存在不足的倾向。其结果，导致可能无法确保齿轮机构的稳定润滑。

鉴于以上情况，本发明的目的在于提供一种可以确保齿轮机构的稳定润滑的真空泵。

为了达成所述目的，本发明的一方式涉及的真空泵具备泵部、驱动部、旋转传动部以及限制构件。

所述泵部具有：第一转子，其可在第一方向上旋转；第二转子，其配置于所述第一转子附近，可在与第一方向相反的第二方向上旋转；以及第一室，其容纳所述第一转子和所述第二转子。

所述驱动部具有：驱动机构，其使所述第一转子旋转；第二室，其容纳所述驱动机构；以及第一排气通道，其使所述第一室与所述第二室连通。

所述旋转传动部具有：齿轮机构，其使所述第一转子和所述第二转子同步旋转；第三室，其容纳所述齿轮机构，并可贮存润滑所述齿轮机构的润滑油；以及第二排气通道，其使所述第三室与所述第二室或所述第一室连通。

所述限制构件设置于所述第二排气通道中，具有限制所述润滑油从所述第三室向所述第二室流动的限制部。

附图说明

图1为本发明的一种实施方式涉及的真空泵的概略剖面图；

图2为表示所述真空泵的泵部的结构的剖面图；

图3为说明所述真空泵的排气通道的结构的重要部分剖面图。

附图标记说明

1...真空泵

2...泵部

3...驱动部

4...旋转传动部

20，30，40...壳体

21，22...转子

23...泵室

33...马达室

41，42...同步齿轮

43...齿轮室

60...限制构件

61...限制部

G...润滑油

P1...第一排气通道

P2...第二排气通道

P22...连接通道部

P221...第一流道

P222...第二流道

具体实施方式

本发明的一种实施方式涉及的真空泵具备泵部、驱动部、旋转传动部、以及限制构件。

所述泵部具有：第一转子，其可在第一方向上旋转；第二转子，其配置于所述第一转子附近，可在与所述第一方向相反的第二方向上旋转；以及第一室，其容纳所述第一转子和所述第二转子。

所述驱动部具有：驱动机构，其使所述第一转子旋转；第二室，其容纳所述驱动机构；以及第一排气通道，其使所述第一室与所述第二室连通。