[发明专利]无UBM的连接件的形成有效
申请号: | 201210020210.8 | 申请日: | 2012-01-21 |
公开(公告)号: | CN103035598A | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 王宗鼎;林鸿仁;李建勋 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/48 |
代理公司: | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人: | 陆鑫;房岭梅 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种器件,包括:衬底、位于衬底上方的金属焊盘、以及一部分位于金属焊盘上方的钝化层。后钝化互连件(PPI)与金属焊盘电连接,其中,PPI的一部分位于金属焊盘和钝化层上方。聚合物层位于PPI上方。焊料球位于PPI上方。复合物的一部分邻接焊料球和聚合物层,其中,复合物包含焊剂和聚合物。本发明还提供了一种无UBM的连接件的形成。 | ||
搜索关键词: | ubm 连接 形成 | ||
【主权项】:
一种器件,包括:衬底;金属焊盘,位于所述衬底上方;钝化层,所述钝化层的一部分位于所述金属焊盘上方;后钝化互连件(PPI),与所述金属焊盘电连接,其中,所述PPI的一部分位于所述金属焊盘和所述钝化层上方;聚合物层,位于所述PPI上方;第一焊料球,位于所述PPI上方,其中,所述焊料球的一部分延伸至所述聚合物层中;以及复合物,包括与所述第一焊料球和所述聚合物层邻接的第一部分,其中,所述复合物包含焊剂和聚合物。
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