[发明专利]一种单腔多靶极溅镀程式控制方式无效
| 申请号： | 201210019652.0 | 申请日： | 2012-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN103225065A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明系提供一种单腔多靶极溅镀程式控制方式，通过承载盘定位光栅传感器感应与否，作为程式是否启动靶极电源的依据，同时也作为是否执行趟数计数的依据，多靶极启动依据是依照缓冲区第一定位光栅动作后计时启动，启动时间为,25sec，趟数计数是依照萤幕设定执行计数，行走范围为第一到第三定位光栅之间，长度为3500mm，对于多靶极溅镀的自动化控制有精准的启动及停止控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单腔多靶极溅镀 程式 控制 方式 | ||
【主权项】：
一种单腔多靶极溅镀程式控制方式，其特徵在于通过承载盘定位光栅传感器感应与否，作为程式是否启动靶极电源的依据，同时也作为是否执行趟数计数的依据。
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