[发明专利]用以改善发光二极体磊晶片的光激发光强度量测失真的量测系统与方法无效
| 申请号: | 201210019222.9 | 申请日: | 2012-01-20 |
| 公开(公告)号: | CN103217271A | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
| 发明(设计)人: | 郑炫墩 | 申请(专利权)人: | 艾特麦司股份有限公司 |
| 主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01J1/00 |
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶;於毓桢 |
| 地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | 本发明是关于一种用以改善发光二极体磊晶片的光激发光强度量测失真的量测系统。该系统包含:移动式平台、雷射光源、光激发光光谱仪、光感测器、以及控制器。本发明亦关于一种用以改善发光二极体磊晶片的光激发光强度量测失真的量测方法。 | ||
| 搜索关键词: | 用以 改善 发光 二极体 晶片 激发 度量 失真 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种量测系统,用以改善发光二极体磊晶片的光激发光的强度量测失真,该系统包含:移动式平台,用以支撑发光二极体磊晶片;雷射光源,用以激发该发光二极体磊晶片,以使该发光二极体磊晶片产生光激发光;光激发光光谱仪,具有狭缝,其中该光激发光是经由该狭缝进入到该光谱仪内;光感测器,具有滤光片以及开口,其中该光激发光透过该开口进入到该光感测器内,以及该开口的直径是大于该光谱仪的该狭缝的宽度;及控制器,耦合至该移动式平台、该雷射光源、该光激发光光谱仪、以及该光感测器。
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