[发明专利]激光处理装置

摘要

本发明提供了一种激光处理装置，其用于防止激光的返回光损坏相机。该激光处理装置包括：激光振荡器；相机；偏振光束分离器，其用于传送激光，并使相机的光接收轴与激光的发射轴基本一致；照明光源，其用于生成具有与激光基本相同波长的照明光以作为对工件进行照明的照明光；半反射镜，其用于使照明光的发射轴与激光的发射轴基本一致；控制单元；以及快门，其用于基于激光的输出控制信号来阻挡来自工件的返回光，该快门在相机的光接收路径上相比于偏振光束分离器安装在相机侧。

主权项

一种激光处理装置，包括：激光生成器，其生成用于对处理目标进行处理的激光；相机，其用于拍摄处理目标；相机分光器，其用于使相机的光接收轴与激光的发射轴基本一致；照明光源，其用于生成具有与激光基本相同波长的照明光，该照明光源具有与激光的发射轴基本一致的发射轴；以及相机快门，其以可打开/可关闭的方式阻挡来自处理目标的返回光，该相机快门相比于相机分光器安装在相机侧。