[发明专利]薄膜沉积系统

摘要

一种薄膜沉积系统，在一或多个基板上形成一或多层的一或多种材质。该系统包含一承盘元件可围绕一承盘轴旋转，至少一基板座直接或间接设置于该承盘元件上，用以承载该一或多个基板。该基板座还配置为令该一或多个基板围绕该承盘轴旋转。此外，该系统包含至少一加热元件用以加热该一或多个基板。各基板包含一面对加热元件的表面，具有一翘曲高度，该加热元件与该表面之间具有一距离。该距离为各基板翘曲高度的20倍以上。

主权项

一种薄膜沉积系统，用以在一或多个基板上形成一或多层的一或多种材质，其特征在于，该薄膜沉积系统包含：一承盘元件，能够围绕一承盘轴旋转；至少一基板座，直接或间接设置于该承盘元件上，承载一或多个基板，该基板座设置成使该一或多个基板围绕该承盘轴旋转；及至少一加热元件，不经由该承盘元件及基板座而是直接加热该一或多个基板；其中，该加热元件配置成只有在该一或多个基板围绕该承盘轴旋转的情况下，该加热元件使该一或多个基板具有一第一温度，该第一温度沿着该承盘轴的径向为定值。