[发明专利]一种台阶模板的制作工艺

摘要

一种台阶模板的制作工艺。该种制作工艺的工艺流程如下：基板处理（裁剪）→前处理（除油、酸洗、喷砂）→贴膜→双面曝光→双面显影→蚀刻（印刷面具有凸起台阶（upstep））→褪膜→前处理（除油、酸洗）→激光切割（平面开口和凸起台阶（upstep）的开口）。该种工艺中包括蚀刻、激光切割工艺，由此工艺制备可制备得到印刷面具有凸起台阶（upstep）的金属网板。应用此种制作工艺得到的金属模板，凸起台阶（upstep）区域的图形开口与基板开口的对位精度高；要求整体模板的开口孔壁光滑、笔直，无毛刺、锯齿等不良现象；表面质量好，无变形、泛白等不良缺陷；板面的厚度均匀性COV要在10%以内。

主权项

一种台阶模板的制作工艺，该种制作工艺的工艺流程如下：基板处理（裁剪）→前处理（除油、酸洗、喷砂）→贴膜→双面曝光→双面显影→蚀刻（印刷面具有凸起台阶（up step））→褪膜→前处理（除油、酸洗）→激光切割（平面开口和凸起台阶（up step）的开口）。