[发明专利]环境扫描电子显微镜内使用的可移动式温度控制系统

摘要

本发明公开了一种环境扫描电子显微镜内使用的可移动式温度控制系统，包括环境扫描电子显微镜的基座、操作器和执行终端，在操作器上安装有制冷制热单元，该制冷制热单元与位于环境扫描电子显微镜外部的温度控制器相连接，温度控制器用于调控制冷制热单元的温度，执行终端固定在制冷制热单元上方；制冷制热单元由下盖板、上盖板，帕尔帖元件和两个连接块组成，其中，下盖板固定在操作器上，上盖板固定在执行终端上，帕尔帖元件位于下盖板和上盖板之间，两个连接块各位于帕尔帖元件的一侧，在上盖板上还设有温度传感器。工作时，执行终端的温度通过电子显微镜外部的温度控制器控制，能够满足对微纳样本的可靠测量和操作。

主权项

一种环境扫描电子显微镜内使用的可移动式温度控制系统，包括环境扫描电子显微镜的基座(8)、操作器(2)和执行终端(4)，其特征在于，在所述的操作器(2)上安装有制冷制热单元(3)，该制冷制热单元(3)与位于环境扫描电子显微镜外部的温度控制器(1)相连接，温度控制器(1)用于调控制冷制热单元(3)的温度，执行终端(4)固定在制冷制热单元(3)上方；所述的制冷制热单元(3)由下盖板(31)、上盖板(35)，帕尔帖单元(34)和两个连接块(32，33)组成，其中，下盖板(31)固定在操作器(2)上，上盖板(35)固定在执行终端(4)上，帕尔帖元件(34)位于下盖板(31)和上盖板(35)之间，两个连接块(32，33)各位于帕尔帖元件(34)的一侧，在上盖板(35)上还设有温度传感器(36)。