[发明专利]环境扫描电子显微镜内使用的可移动式温度控制系统

权利要求书

1.一种环境扫描电子显微镜内使用的可移动式温度控制系统，包括环境扫描电子显微镜的基座(8)、操作器(2)和执行终端(4)，其特征在于，在所述的操作器(2)上安装有制冷制热单元(3)，该制冷制热单元(3)与位于环境扫描电子显微镜外部的温度控制器(1)相连接，温度控制器(1)用于调控制冷制热单元(3)的温度，执行终端(4)固定在制冷制热单元(3)上方；

所述的制冷制热单元(3)由下盖板(31)、上盖板(35)，帕尔帖单元(34)和两个连接块(32，33)组成，其中，下盖板(31)固定在操作器(2)上，上盖板(35)固定在执行终端(4)上，帕尔帖元件(34)位于下盖板(31)和上盖板(35)之间，两个连接块(32，33)各位于帕尔帖元件(34)的一侧，在上盖板(35)上还设有温度传感器(36)。

2.如权利要求1所述的环境扫描电子显微镜内使用的可移动式温度控制系统，其特征在于，所述的两个连接块(32，33)由绝热材料构成，两个连接块(32，33)的高度低于帕尔帖元件(34)的高度，安装后，上盖板(35)和下盖板(31)与两个连接块(32，33)之间留有缝隙。

3.如权利要求1所述的环境扫描电子显微镜内使用的可移动式温度控制系统，其特征在于，所述的温度传感器(36)选用热电偶。