[发明专利]一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置无效
| 申请号： | 201210000946.9 | 申请日： | 2012-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN103194732A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/46;C23C16/448 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明系提供一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置，通过等高柱凹槽设计将加热器均温板扣固在等高柱凹槽内，取代以螺丝固定方式，锁固在一固定源上，有效避免加热器均温板因加热时产生的膨胀变形量无法伸缩的现象，导致加热器均温板变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 设备 加热器 均温板 固定 装置 | ||
【主权项】：
一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置，其包括等高柱本体及凹槽组成。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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