[发明专利]一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置

说明书

所属技术领域

本发明属于光伏玻璃工艺设备领域，具体涉及一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置。

  

背景技术

通常PECVD沈积设备内置加热器均温板组件是使用螺丝等锁固扣件固定于加热器框架上，但由于加热器发热后，均温板承受一定程度的热源，同时随着时间变化会产生不同程度的帐缩，致使均温板尺寸发生变化，若使用螺丝锁固方式固定，均温板会因锁固而无法自由变形而产生不同程度的板内变形无法保持平整度，当温度下降后并无法回复，导致永久变形产生，影像均温板均匀散热的目的。 

发明内容

综上所述，为了克服现有技术不足，本发明的主要目的在于提供一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置，它利用等高柱本体上车削固定凹槽以放置均温板，使均温板有自由的空间产生因热源而发生的尺寸上的变化，解决了因锁固方式无法自由膨胀而致使均温板表面平整度发生永久变形的现象。        

    本发明一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置具有以下优点：

1.      本发明利用等高柱车削凹槽方式固定加热器均温板，保证均温板表面平整度2.      本发明结构简单，拆卸快速。

附图说明

图1系为本发明结构示意图。 

主要组件符号说明 

1．．．等高柱本体

2．．．固定凹槽 

具体实施方式

    下面结合附图对本发明做进一步说明。 

请参阅图1所示，一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置，其包括等高柱本体1，本体上车削固定凹槽2 

    以上所述实例是对本发明技术方案的说明而非限制，所属技术领域普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的修改，只要未超出本发明技术方案的思路和范围，均应包含在本发明的权利要求范围之内。