[发明专利]立式鼠笼分子泵

摘要

本发明推出了一种立式鼠笼分子泵，由动鼠笼、静鼠笼、转轴和吸气口、排气口等组成，其特点是环绕转轴从外圈向内圈相间安装多个不同直径的动鼠笼和静鼠笼组成立式鼠笼分子泵的抽气单元，通过高速旋转的动鼠笼和相对动鼠笼静止不动的静鼠笼与气体分子的互相碰撞，产生对吸气口气体分子的拖动、传输和压缩的一系列作用，使气体分子穿越相间安装的动鼠笼和静鼠笼的气道向转轴中心处压缩集结，再经转轴上的气道传输至排气口，被前级真空泵抽走。本发明立式鼠笼分子泵，比较相同泵体直径的立式涡轮分子泵，不但在提高抽速和抗击大流量气体冲击上，而且在制造简单、成本低廉上，都有着明显的优势。本发明的推出是分子泵技术的又一新的进步。

主权项

一种包括泵体〔1〕、转轴〔2〕、盘形隔板〔6〕、盘形隔板〔7〕、驱动盘〔8〕、动鼠笼、静鼠笼、气体吸入口〔13〕、气体排出口〔14〕的立式鼠笼分子泵，其特征在于：a.所述的盘形隔板〔6〕和盘形隔板〔7〕固定安装在泵体〔1〕上；b.所述的驱动盘〔8〕固定安装在转轴〔2〕上；c.所述的动鼠笼垂直固定安装在驱动盘〔8〕上；d.所述的静鼠笼垂直固定安装在盘形隔板〔7〕上。