[发明专利]立式鼠笼分子泵

权利要求书

1.一种包括泵体〔1〕、转轴〔2〕、盘形隔板〔6〕、盘形隔板〔7〕、驱动盘〔8〕、动鼠笼、静鼠笼、气体吸入口〔13〕、气体排出口〔14〕的立式鼠笼分子泵，其特征在于：

a.所述的盘形隔板〔6〕和盘形隔板〔7〕固定安装在泵体〔1〕上；

b.所述的驱动盘〔8〕固定安装在转轴〔2〕上；

c.所述的动鼠笼垂直固定安装在驱动盘〔8〕上；

d.所述的静鼠笼垂直固定安装在盘形隔板〔7〕上。

2.根据权利要求1所述的立式鼠笼分子泵，其特征在于多个动鼠笼和静鼠笼交替从驱动盘〔8〕和盘形隔板〔7〕的周边外圈逐个向转轴〔2〕中心相间排列，距转轴〔2〕中心位置最近的一个鼠笼是动鼠笼。

3.根据权利要求1所述的立式鼠笼分子泵，其特征在于转轴〔2〕为相当壁厚的金属空心管，在转轴〔2〕的厚壁上开设多条平行于转轴方向、布局上相对转轴中心呈均布对称的气道〔3〕，气道〔3〕的截面形状呈四边形。

4.根据权利要求1所述的立式鼠笼分子泵，其特征在于驱动盘〔8〕与盘形隔板〔6〕之间留有工作间隙。

5.根据权利要求1所述的立式鼠笼分子泵，其特征在于动鼠笼与静鼠笼之间、动鼠笼与盘形隔板〔7〕之间、静鼠笼与驱动盘〔8〕之间留有工作间隙。