[发明专利]具有选择性表面固定化部位的纳米间隙换能器有效

专利信息
申请号: 201180076004.2 申请日: 2011-12-28
公开(公告)号: CN103998931A 公开(公告)日: 2014-08-20
发明(设计)人: G.M.克雷多;O.H.埃利波尔;N.泰比 申请(专利权)人: 英特尔公司
主分类号: G01N33/53 分类号: G01N33/53;G01N27/26;B82Y15/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 谢攀;傅康
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明的实施例提供了能够充当电子传感器和氧化还原循环传感器的换能器。换能器包括以纳米间隙分离的两个电极。提供了接近并且在纳米间隙内的分子结合区。还提供了制造纳米间隙换能器和纳米间隙换能器阵列的方法。可以将单独可寻址的纳米间隙换能器的阵列布置在集成电路芯片上并可操作地耦合到该集成电路芯片。
搜索关键词: 具有 选择性 表面 固定 部位 纳米 间隙 换能器
【主权项】:
一种设备,包括衬底,其具有表面,以及被布置在衬底表面上的换能器,其中,所述换能器包括:第一电极和第二电极,其中,第一和第二电极均被耦合到导电线,通过所述导电线能够独立地向第一和第二电极施加电压,并独立地从第一和第二电极中的每一个测量电流,并且其中,第一电极具有面且第二电极具有面,并且第一电极的面与第二电极的面分离小于500nm的距离,腔,其能够包含在第一电极的面与第二电极的面之间的流体,通过第二电极的出入孔,其能够允许流体进入和离开所述腔,被布置在第二电极上的优选地可功能化电介质材料的层,其中,优选地可功能化电介质层具有在所述出入孔内的曝露表面,以及电介质材料的层,其被布置在优选地可功能化电介质材料的层上,是非优选地可功能化的。
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