[发明专利]激光输出测定装置有效
申请号: | 201180075886.0 | 申请日: | 2011-12-27 |
公开(公告)号: | CN104011516A | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 正田史生;深堀秀则;柳泽隆行;矢部实透;西村哲也;山本修平;井上阳子;船仓哲生 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | G01J1/02 | 分类号: | G01J1/02 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李今子 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 光分离器(3)配置在绕由透镜(2)聚光的激光的光轴(6)旋转了规定的角度(θ1)、并且绕与激光的光轴(6)以及激光的入射面垂直的直线(9)旋转了规定的角度(θ2)的位置。 | ||
搜索关键词: | 激光 输出 测定 装置 | ||
【主权项】:
一种激光输出测定装置,其特征在于,具备:透镜,对入射的激光进行聚光;光分离器,依照由所述透镜聚光的激光的偏振方向和依赖于所述激光的入射角度的菲涅尔反射率,反射所述激光的一部分;以及光检测器,测定由所述光分离器反射的激光的强度,所述光分离器配置在绕由所述透镜聚光的激光的光轴旋转了规定的角度、并且绕与所述激光的光轴以及所述激光的入射面垂直的直线旋转了规定的角度的位置。
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