[发明专利]激光输出测定装置

说明书

技术领域

本发明涉及在对由激光振荡器振荡出的激光的输出进行调整时测定该激光的强度的激光输出测定装置。

背景技术

以往，在对由激光振荡器振荡出的激光的输出进行调整时，使用激光输出测定装置，测定由激光振荡器振荡出的激光的强度。

图12是示出以下的专利文献1公开的以往的激光输出测定装置的结构图。

在以往的激光输出测定装置中，如图12所示，包括：将从激光振荡器101出射的激光的一部分作为监视光进行反射的光分离器102；以及检测由光分离器102反射的反射光的强度的光检测器103。

由该光检测器103测定出的强度被反馈到激光振荡器101，依照强度的测定结果，调整激光的输出。

另一方面，透过了光分离器102的激光被用于激光的本来的目的。

此处，以相对从激光振荡器101出射的激光的光轴104的方向倾斜规定的角度的状态(通常以45°的角度倾斜)，配置了光分离器102。

另外，在光分离器102的反射面上，为了使其具有期望的反射率，通常实施了利用电介体多层膜的部分反射涂层。

该部分反射涂层是以测定激光的强度的用途使激光的一部分反射的涂层，所以通常是反射率低的区域中的涂层。

该部分反射涂层的电介体膜具有反射率根据大气中的水分的吸收、温度而变化的性质。

例如，在使用反射率是1％(透过率是99％)的光分离器102的情况下，如果反射率变化0.1％，则由光分离器102反射的激光的输出变化成为10％(＝0.1％/1.0％)。

因此，仅仅在部分反射涂层的电介体膜中产生劣化而反射率稍微变动就发生被反射的激光的大的输出变化。

另外，已知关于反射率低的电介体膜，难以控制，发生大的偏差，并且花费成膜成本。

在以往的激光输出测定装置中，如上所述，光检测器103检测由光分离器102反射的激光的强度，但在从激光振荡器101出射的激光入射到光分离器102时，该激光的入射角度根据入射位置而不同，所以由光分离器102反射的激光的反射率根据入射位置而不同。因此，难以正确地测定从激光振荡器101出射的激光的输出。

因此，考虑代替因入射角度所致的反射率的变动大的电介体多层膜而对光分离器102的反射面实施金属膜涂层的方法，但在该情况下，也花费成膜成本，所以激光输出测定装置变得昂贵。

专利文献1：日本特开平4-220535号公报(段落编号[0008]、图1)

发明内容

以往的激光输出测定装置如以上那样构成，所以仅仅在对光分离器102的反射面实施的部分反射涂层的电介体膜中产生劣化而反射率稍微变动就发生被反射的激光的大的输出变化。因此，存在难以正确地测定激光的强度的课题。

另外，关于反射率低的电介体膜，难以控制，发生大的偏差，并且花费成膜成本，所以存在激光输出测定装置变得昂贵的课题。

进而，在希望测定聚光位置处的输出时，如果在光分离器的前级配置聚光用的透镜，则被聚光的激光入射到光分离器的入射角度根据入射位置而不同，所以激光的反射率根据入射位置而变动。因此，存在包含聚光用的透镜的劣化所致的输出变动等而难以进行聚光位置处的输出的观测这样的课题。

因此，考虑代替因入射角度所致的反射率的变动大的电介体多层膜而对光分离器102的反射面实施金属膜涂层的方法，但在该情况下，也花费成膜成本，所以存在激光输出测定装置变得昂贵的课题。

本发明是为了解决上述那样的课题而完成的，其目的在于得到一种不使用昂贵的光分离器就能够正确地测定被聚光的激光的强度的激光输出测定装置。

本发明涉及的激光输出测定装置具备：透镜，对入射的激光进行聚光；光分离器，依照由该透镜聚光的激光的偏振方向和依赖于所述激光的入射角度的菲涅尔反射率，反射所述激光的一部分；以及光检测器，测定由该光分离器反射的激光的强度，所述光分离器配置在绕由所述透镜聚光的激光的光轴旋转了规定的角度、并且绕与所述激光的光轴以及所述激光的入射面垂直的直线旋转了规定的角度的位置。

根据本发明，构成为具备：透镜，对入射的激光进行聚光；光分离器，依照由该透镜聚光的激光的偏振方向和依赖于所述激光的入射角度的菲涅尔反射率，反射所述激光的一部分；以及光检测器，测定由该光分离器反射的激光的强度，所述光分离器配置在绕由所述透镜聚光的激光的光轴旋转了规定的角度、并且绕与所述激光的光轴以及所述激光的入射面垂直的直线旋转了规定的角度的位置，所以具有不使用昂贵的光分离器就能够正确地测定被聚光的激光的强度的效果。

附图说明