[发明专利]基板输送装置及基板装配线

摘要

本发明提供一种将基板容纳在输送托盘进行输送且无需将其移载就可以使基板彼此粘合的基板输送装置及基板装配线。本发明的基板输送装置，在内部板(1a)上保持了第一基板(W1)或第二基板(W2)中的任意一方基板的输送托盘(1)被搬入到基板装配线的粘合位置(P1)，在粘合位置(P1)上，使其与第一基板(W1)或第二基板(W2)中的另一方基板对置，并且通过来自按压单元(B)的按压力使第一基板(W1)和第二基板(W2)粘合，并以将包含该被粘合的第一基板(W1)及第二基板(W2)的基板组(W)保持在内部板(1a)上的状态，从粘合位置(P1)搬出输送托盘(1)。

主权项

一种基板输送装置，使用于配备了将对置的第一基板和第二基板粘合的按压单元的基板装配线，所述基板输送装置的特征在于，具备输送托盘，其设有装卸自如地保持所述第一基板或所述第二基板中的任意一方基板或所述第一基板及所述第二基板被粘合了的基板组的内部板，所述输送托盘将所述第一基板或所述第二基板中的任意一方基板保持在所述内部板上不变地被搬入到所述基板装配线的粘合位置，在所述粘合位置，与所述第一基板或所述第二基板中的另一方基板对置，并且通过来自所述按压单元的按压力使所述第一基板和所述第二基板粘合，并将该被粘合的所述第一基板及所述第二基板保持在所述内部板上不变地从所述粘合位置被搬出。