[发明专利]用于包括铜和钛的金属层的蚀刻液组合物有效
| 申请号： | 201180073121.3 | 申请日： | 2011-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN103764874A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 朴英哲;李昔准;姜京敏;张尚勋 | 申请（专利权）人： | 东友FINE-CHEM股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/44;C23F1/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 张颖玲;胡春光 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于金属层的蚀刻液组合物，具体地，金属层包括铜和钛，该蚀刻液组合物包括过硫酸盐、含氟化合物、无机酸、环胺化合物、含氯化合物、磷酸盐和水。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 包括 金属 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
一种用于包括铜和钛的金属层的蚀刻液组合物，所述蚀刻液组合物包括过硫酸盐、含氟化合物、无机酸、环胺化合物、含氯化合物、磷酸盐和水。
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