[发明专利]双臂机器人

摘要

一种基板加工设备，包括：框架；第一臂，在肩轴线处联接到框架上并且具有串联并且可旋转地联接到彼此的第一上臂，第一前臂和至少一个基板保持器；第二臂，在肩轴线处联接到框架，其中所述臂的肩旋转轴线基本上重合，第二臂具有串联并且可旋转地联接到彼此的第二上臂，第二前臂和至少一个基板保持器；以及，驱动部段，连接到框架并且联接到臂，驱动部段被配置成独立地延伸并且旋转每个臂，其中第一臂的延伸轴线基本上在第一臂或第二臂中至少一个的每个角位置相对于第二臂的延伸轴线成角度。

主权项

一种基板加工设备，包括：框架；第一SCARA臂，在肩轴线处联接到所述框架，所述第一臂具有串联并且可旋转地联接到彼此的第一上臂，第一前臂和至少一个基板保持器；第二SCARA臂，在所述肩轴线处联接到所述框架使得所述第一SCARA臂和第二SCARA臂的肩旋转轴线基本上重合，所述第二臂具有串联并且可旋转地联接到彼此的第二上臂，第二前臂和至少一个基板保持器；以及驱动部段，连接到所述框架并且联接到所述第一臂和第二臂，所述驱动部段被配置成独立地延伸并且旋转所述第一臂和第二臂中的每一个，其中所述第一臂的延伸轴线基本上在所述第一SCARA臂或所述第二SCARA臂中至少一个的每个角位置相对于所述第二臂的延伸轴线成角度。