[发明专利]双臂机器人

权利要求书

1. 一种基板加工设备，包括：

框架；

第一SCARA臂，在肩轴线处联接到所述框架，所述第一臂具有串联并且可旋转地联接到彼此的第一上臂，第一前臂和至少一个基板保持器；

第二SCARA臂，在所述肩轴线处联接到所述框架使得所述第一SCARA臂和第二SCARA臂的肩旋转轴线基本上重合，所述第二臂具有串联并且可旋转地联接到彼此的第二上臂，第二前臂和至少一个基板保持器；以及

驱动部段，连接到所述框架并且联接到所述第一臂和第二臂，所述驱动部段被配置成独立地延伸并且旋转所述第一臂和第二臂中的每一个，其中所述第一臂的延伸轴线基本上在所述第一SCARA臂或所述第二SCARA臂中至少一个的每个角位置相对于所述第二臂的延伸轴线成角度。

2. 根据权利要求1所述的基板加工设备，其中，所述驱动部段包括四个自由度驱动系统。

3. 根据权利要求1所述的基板加工设备，其中，所述驱动部段包括同轴驱动轴布置。

4. 根据权利要求1所述的基板加工设备，其中，所述框架包括可密封的腔室，其中所述第一臂和第二臂至少部分地在所述可密封的腔室内操作。

5. 根据权利要求1所述的基板加工设备，其中，所述第一臂和第二臂中每一个的所述至少一个基板保持器基本上安置于共同平面中。

6. 根据权利要求1所述的基板加工设备，其中，所述第一臂和第二臂中每一个的所述至少一个基板保持器安置于彼此靠近的平面中。

7. 根据权利要求1所述的基板加工设备，还包括，至少在所述第一臂和第二臂处于缩回配置时至少部分地在径向围绕所述第一臂和第二臂的多个水平相邻基板保持位置。

8. 根据权利要求1所述的基板加工设备，还包括，控制器，连接到所述驱动部段并且被配置成控制所述驱动部段以实现所述第一臂和第二臂中的每一个的独立延伸和旋转。

9. 一种基板加工设备，包括：

传送腔室；以及

至少部分地安装于所述传送腔室内的基板传送设备，所述基板传送设备包括：

框架；

第一SCARA臂，具有可旋转地并且串联联接到彼此的第一上臂连杆，第一前臂连杆和至少一个基板保持器；

第二SCARA臂，具有可旋转地并且串联联接到彼此的第二上臂连杆，第二前臂连杆和至少一个基板保持器，其中所述第一SCARA臂和第二SCARA臂安装到所述框架上使得所述第一SCARA臂和第二SCARA臂共用共同肩轴线；以及

同轴驱动部段，连接到所述第一SCARA臂和第二SCARA臂使得所述第一SCARA臂和第二SCARA臂中每一个能够独立于所述第一SCARA臂和第二SCARA臂中另一个旋转和延伸，

其中所述第一SCARA臂和第二SCARA臂安置成使得所述第一SCARA臂的延伸轴线被约束为相对于所述第二SCARA臂的延伸轴线成角度。

10. 根据权利要求9所述的基板加工设备，其中，所述第一SCARA臂和第二SCARA臂中每一个的所述至少一个基板保持器沿着相应延伸轴线的途径相交。

11. 根据权利要求9所述的基板加工设备，其中，所述第一SCARA臂和第二SCARA臂中每一个的所述至少一个基板保持器的途径延伸为基本上在所述肩轴线处相交。

12. 根据权利要求9所述的基板加工设备，其中，所述第一SCARA臂和第二SCARA臂中每一个的所述至少一个基板保持器沿着相应延伸轴线的途径交叉。

13. 根据权利要求9所述的基板加工设备，其中，所述同轴驱动部段包括四个自由度驱动器。

14. 根据权利要求9所述的基板加工设备，其中，所述第一SCARA臂和第二SCARA臂中每一个的至少一个基板保持器基本上安置于共同平面中。