[发明专利]通过在扫描方向上具有扩展场的声光偏转器（AOD）来扫描二维刷的方法和装置

摘要

公开的技术涉及改进的声光偏转器（AOD）。特别地，它涉及对之前未被AOD设计者解决的微妙影响进行补偿。使用增强的功率均衡化策略来描述和解决重心偏移。

主权项

一种通过扫描多个相干束将交错束点从多个束的第一和第二刷投射到工件上的方法，包括：在被投射到工件上时，以束之间的第一间隔来形成相干辐射的多个束的第一刷，该间隔和安全距离一样大或比它更大，该安全距离使得多个束的第一刷的相邻相干束在投射到工件上时不干涉；在被投射到工件上时，以束之间的第二间隔来形成相干辐射的多个束的第二刷，该间隔和安全距离一样大或比它更大，该安全距离使得多个束的第二刷的相邻相干束在投射到工件上时不干涉；并且其特征在于还包括以下动作：使多个相干束的第一和第二刷交错，其中，在被投射到工件上时，多个束的第一刷中的各个束和多个束的第二刷中的各个束之间的距离小于安全距离，该安全距离使得多个束的相应第一和第二刷的相邻相干束在投射到工件上时不干涉；其中，通过下列方式之一，在投射到工件上时，多个束的第一刷的各个束被调节为与多个束的第二刷的各个束不干涉：从分离的相干源分别形成多个相干束的第一和第二刷；以实际不同的频率形成多个相干束的第一和第二刷；或者通过短脉冲形成多个相干束的第一和第二刷，通过遍历来自公共相干源的不同路径长度，所述短脉冲被调节为不干涉，从而在被投射到工件时，多个相干束的第一和第二刷的短脉冲在时间上不重叠。