[发明专利]通过在扫描方向上具有扩展场的声光偏转器（AOD）来扫描二维刷的方法和装置

权利要求书

1.一种使用光学器件来形成交错飞点的致密刷的方法，所述交错飞点在投射到工件上的飞点之中具有最小的间隔距离，该距离使得相邻的相干束互不干涉，包括：

在被投射到工件上时，以第一飞点之间的第一间隔来形成相干辐射的飞点的第一刷，该第一间隔和该最小间隔距离一样大或比它更大；

在被投射到工件上时，以第二飞点之间的第二间隔来形成相干辐射的飞点的第二刷，该第二间隔和该最小间隔距离一样大或比它更大；

其特征在于进一步使多个相干飞点的第一和第二刷交错，其中，在被投射到工件上时，所述第一刷中的各个飞点和第二刷中的各个飞点之间的距离小于该最小间隔距离，其中，所述第一飞点被调节为不与所述第二飞点干涉。

2.如权利要求1所述的方法，其中，通过分别从第一和第二相干源形成飞点，所述第一和第二飞点被调节为不干涉。

3.如权利要求1-2中任一个所述的方法，其中，通过在实际不同频率下从相干源形成飞点，所述第一和第二飞点被调节为不干涉。

4.如权利要求3所述的方法，还包括使用一个或多个频率调整器来调整一个或多个相干源的频率。

5.如权利要求4所述的方法，其中，所述相干源共享公共的激光源。

6.如权利要求1-5中任一个所述的方法，其中，所述第一和第二飞点是短脉冲，通过遍历来自公共相干源的不同路径长度，所述脉冲被调节为不干涉，从而在被投射到工件时，所述第一和第二飞点的短脉冲在时间上不重叠。

7.一种显微光刻写入器，使用光学器件来产生交错飞点的致密刷，所述交错飞点在投射到工件上的飞点之中具有最小的间隔距离，该距离使得相邻的相干束互不干涉，包括：

第一和第二相干辐射源；

光路径，其将相干辐射中继到工件上，形成飞点；

光路径中的至少一个刷形成元件，其将相干辐射分为相干辐射的飞点的第一和第二刷，在被投射到工件上时，每个具有各个刷中的飞点之间的间隔，该间隔与该最小间隔距离一样大或比它更大；

其特征在于，位于光路径中的一个或多个光学组合元件，其使飞点的第一和第二刷交错，其中，在被投射到工件上时，第一刷中的各个飞点和第二刷中的各个飞点之间的距离小于该最小间隔距离；以及

光路径中的束调节器，其将相干辐射的第一飞点调节为不与相干辐射的第二飞点干涉。

8.如权利要求7所述的写入器，其中，所述第一和第二相干辐射源是单独的激光器或发光二极管。

9.如权利要求7-8中任一个所述的写入器，其中，所述第一和第二相干辐射源在实际不同的频率下运行。

10.如权利要求9所述的写入器，还包括至少一个激光器，其被用于产生第一和第二相干辐射源，以及光路径中的至少一个频率调整器，其调整一个或多个相干源的频率。

11.如权利要求7-10所述的写入器，还包括：

脉冲激光器，被用于产生第一和第二相干辐射源；以及

用于第一和第二相干辐射源的两个不同长度的光路径，其中，来自脉冲激光器的脉冲长度短于第一和第二相干辐射源的两个光路径的长度差，从而在被投射到工件上时，经过两个光路径的短脉冲在时间上不重叠。

12.一种使用使束偏转的声光偏转器（AOD）和对每个束的功率进行调制的调制器的组合在工件上形成交错飞点的致密刷的方法，该束被用于产生第一角度方向上的飞点，包括：

通过将第一源束分离并展开为多个第一束，来形成进入AOD的束的第一角度刷，其中，该第一束与第一轴平行地展开；

通过将第二源束分离并展开为多个第二束，来形成进入AOD的束的第二角度刷，其中，该第二束与第一轴平行地展开；

通过将第一和第二角度刷与沿着第二轴的偏移量进行组合来形成二维角度刷，该第二轴通常与第一轴垂直；

使用啁啾RF信号和可变RF功率来驱动AOD，其中，该可变RF功率控制AOD中的束的平均衍射效率；以及

在第一和第二角度刷中应用各个束的基本功率的时变调整，以校正由与第一轴平行的束的角度展开产生的Bragg角度差、所引起的束到束的衍射效率的差异。

13.如权利要求12所述的方法，还包括用图案数据来调制每个束，并将图案调制束中继到工件，形成扫描线。