[发明专利]用于化学气相沉积系统的夹具及其相关方法

摘要

本发明提供具有井的夹具，所述井用于在化学气相沉积期间支撑所制成的棒。所述夹具可使用围绕所述井的板条及窗口，所述棒可向上生长至所述井并被所述井支撑。

主权项

一种化学气相沉积系统，其包括：夹具，其构造为向垂直定向的细丝提供机械支撑，并包括：第一部分，其包括井，所述井同轴地设置在细丝通道上，所述细丝通道的大小和构造适于容纳所述细丝的端部并在所述井的底面处具有开孔，且所述井的直径大于所述细丝通道的直径；邻近所述第一部分的第二部分，所述第二部分具有同轴设置的电极通道；以及电极，其与所述电极通道连通。