[发明专利]模块化涂料器分离有效
| 申请号： | 201180058105.7 | 申请日： | 2011-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN103237919B | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | B·勒孔特;H·维亚姆;T·约内米希 | 申请（专利权）人： | 旭硝子欧洲玻璃公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54;C03C17/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 曹珂琼 |
| 地址： | 比利时*** | 国省代码： | 比利时;BE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于在真空下将多层涂料叠层沉积在平的玻璃基板上的过程，并且涉及用于将薄层沉积在平的玻璃基板上的模块化涂料器。布置在模块化涂料器的两个沉积区域之间的气体分离区域包括在用于玻璃基板的传送路径附近的至少一个气体注射器，该玻璃基板通过孔从一个沉积区域经由分离区域朝着另一个沉积区域行进。本发明使得能够提高两个沉积区域之间的分离系数。 | ||
| 搜索关键词： | 模块化 涂料 分离 | ||
【主权项】：
一种用于将多层涂料叠层以不间断的方式沉积在平的玻璃基板上的方法，所述方法包括：在真空下以0.5mTorr与15mTorr之间的压力通过溅射在具有第一气氛类型的第一沉积区域中沉积至少第一层并在具有第二气氛类型的第二沉积区域中沉积至少第二层，所述第二气氛类型通过分离区域与所述第一气氛类型分离，其中将所述平的玻璃基板沿着传送路径从所述第一沉积区域通过所述分离区域移动到所述第二沉积区域，其中所述传送路径是滚柱式传送器，其特征在于，在所述传送路径附近在所述平的玻璃基板上方限定出的通道路径内将气体注射到所述分离区域中，以便增大所述第一气氛类型和所述第二气氛类型之间的分离系数，其中，借助泵吸操作来抽取所述分离区域内的气氛的气体。
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