[发明专利]模块化涂料器分离

权利要求书

1.一种用于将多层涂料叠层沉积在平的玻璃基板上的方法，所述方法包括：在真空下在具有第一气氛类型的第一沉积区域中沉积至少第一层并在具有第二气氛类型的第二沉积区域中沉积至少第二层，所述第二气氛类型通过分离区域与所述第一气氛类型分离，其中将所述平的玻璃基板沿着传送路径从所述第一沉积区域通过所述分离区域移动到所述第二沉积区域，其特征在于，在所述传送路径附近将气体注射到所述分离区域中，以便增大所述第一气氛类型和所述第二气氛类型之间的分离系数。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，借助泵吸操作来抽取所述分离区域内的气氛的气体。

3.根据权利要求1和2中任一项所述的方法，其特征在于，通过钻有洞的管道来注射气体。

4.根据任一前述权利要求所述的方法，其特征在于，靠近所述第一沉积区域和所述第二沉积区域中的每一个沉积区域来注射气体。

5.根据任一前述权利要求所述的方法，其特征在于，与所述传送路径垂直地朝着所述传送路径来注射气体。

6.根据权利要求1到4中任一项所述的方法，其特征在于，朝着靠近的沉积区域的孔来注射气体。

7.根据任一前述权利要求所述的方法，其特征在于，在距所述传送路径10mm和100mm之间的距离处注射气体，优选地在距所述传送路径15mm到50mm之间的距离处注射气体。

8.根据任一前述权利要求所述的方法，其特征在于，在所述平的玻璃基板上方限定出的通道路径内注射气体。

9.一种用于在真空下将薄层沉积在平的玻璃基板上的模块化涂料器，该模块化涂料器具有至少两个沉积区域以及位于所述至少两个沉积区域之间的气体分离区域，所述模块化涂料器还具有用于所述平的玻璃基板的传送路径，所述平的玻璃基板从一个所述沉积区域经由所述气体分离区域朝另一个所述沉积区域地通行经过孔，其特征在于，所述气体分离区域包括在所述传送路径附近的至少一个气体注射器。

10.根据权利要求9所述的模块化涂料器，其特征在于，所述气体分离区域包括泵吸装置，该泵吸装置用于将气体抽离所述气体分离区域。

11.根据权利要求9和10中任一项所述的模块化涂料器，其特征在于，在所述传送路径上方布置有覆盖装置，从而当位于所述气体分离区域内的所述传送路径上有平的玻璃基板被传送时，所述覆盖装置与所述传送路径一起限定出通道路径，并且所述至少一个气体注射器布置在所述通道路径内。

12.根据权利要求9到11中任一项所述的模块化涂料器，其特征在于，所述至少一个气体注射器包括沿着所述气体分离区域的宽度与所述传送路径的方向垂直地定位的、钻有洞的管道。

13.根据权利要求9到12中任一项所述的模块化涂料器，其特征在于，所述至少一个气体注射器布置在与所述至少两个沉积区域中的每一个沉积区域相距10mm和100mm之间的距离处。