[发明专利]用于微复制的冷却单元

摘要

根据一个示例性实施例，公开了用于微复制的设备。该设备包括冷却单元（110），其包含底层（111）、多个侧壁（112）和中间层（113）。底层具有外周边和围绕底层的外周边的多个侧壁。中间层被定位在底层与侧壁的上部之间。中间层可以包括多个开口（116、117、118），其可以保持分配冷却剂的装置，或被用于排出冷却剂。在微复制期间，方法在加热和压印聚合物膜之后使用该设备。

主权项

用于微复制的冷却单元，其包含：底层，其具有由外周边围绕的区域，其中所述底层具有顶面和底面；围绕所述底层的外周边的多个侧壁，其中每个侧壁均具有顶部和下部，其中所述侧壁的所述下部被连接到所述底层的所述外周边；中间层，其具有由外部的中间层周边围绕的区域并且具有顶侧和底侧，其中所述中间层位于所述底层与每个所述侧壁的所述上部之间；多个开口，其在所述中间层的所述底面与所述底层的所述顶面之间；以及其中所述多个开口中的至少一个保持控制至少一种类型冷却剂的装置。