[发明专利]用于微复制的冷却单元

权利要求书

1.用于微复制的冷却单元，其包含：

底层，其具有由外周边围绕的区域，其中所述底层具有顶面和底面；

围绕所述底层的外周边的多个侧壁，其中每个侧壁均具有顶部和下部，其中所述侧壁的所述下部被连接到所述底层的所述外周边；

中间层，其具有由外部的中间层周边围绕的区域并且具有顶侧和底侧，其中所述中间层位于所述底层与每个所述侧壁的所述上部之间；

多个开口，其在所述中间层的所述底面与所述底层的所述顶面之间；以及

其中所述多个开口中的至少一个保持控制至少一种类型冷却剂的装置。

2.根据权利要求1所述的冷却单元，其中所述装置是喷嘴。

3.根据权利要求1所述的冷却单元，其中所述多个开口中的一些用于排出至少一种冷却剂。

4.根据权利要求1所述的冷却单元，其中所述多个开口中的一些用于再循环所述至少一种冷却剂。

5.根据权利要求1所述的冷却单元，其中所述至少一种冷却剂是二醇。

6.根据权利要求1所述的冷却单元，其中所述至少一种冷却剂是与二醇混合的水。

7.根据权利要求1所述的冷却单元，其中所述至少一种冷却剂是与空气混合的二醇。

8.根据权利要求1所述的冷却单元，其中所述至少一种冷却剂是与空气混合的水。

9.根据权利要求1所述的冷却单元，其中聚合物膜被放在所述冷却单元的所述侧壁的所述上部上。

10.根据权利要求1所述的冷却单元，其还包含凹槽、沟槽或通道。

11.用于微复制的冷却带的系统，其包含：

带，其围绕第一组辊形成环；

第二组辊；其支撑所述带和薄膜；以及

至少一个喷嘴，其用于递送至少一种冷却剂，其中至少一个喷嘴位于所述带和所述薄膜之下。

12.根据权利要求11所述的系统，其中所述带是金属。

13.根据权利要求11所述的系统，其中所述带是热包层。

14.根据权利要求11所述的系统，其中所述薄膜是聚合物膜。

15.根据权利要求11所述的系统，其中所述薄膜与所述带接触。

16.根据权利要求11所述的系统，其中所述薄膜与压力通风系统接触。

17.用于微复制的冷却带的系统，其包含：

带，其围绕一组辊形成环，所述一组辊支撑所述带和薄膜；以及

至少一个喷嘴，其用于递送至少一种冷却剂；其中至少一个喷嘴位于所述带和所述薄膜之下。

18.根据权利要求17所述的系统，其中所述薄膜是聚合物膜。

19.根据权利要求17所述的系统，其中所述带是金属。

20.根据权利要求17所述的系统，其中所述薄膜与所述带接触。