[发明专利]光学成像有效
| 申请号： | 201180056461.5 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN103229105A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 乔纳森·肯尼特;约翰·坎宁安;罗伯特·吉卜森 | 申请（专利权）人： | 彩虹科技系统有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朱胜;李春晖 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 这里描述了一种用于光学成像的方法和设备。更具体地，描述了用于对覆盖有湿可固化光聚合物的基板（例如，薄板）进行光学成像的方法和设备，其中，相对于基板按压和旋转可旋转光学工具以创建成像基板，该成像基板用于形成适合于形成电路（诸如用于印刷电路板（PCB）、平板显示器和柔性电路）的图像。还描述了一种对覆盖有湿可固化光聚合物的基板直接进行光学成像的方法和设备，其中，光学成像基板用于形成诸如电路的图像，并且还描述了用于使用湿可固化光聚合物对印刷电路板（PCB）上的焊接掩模的至少一部分进行曝光的方法和设备，其中，此后可在焊接掩模上方的区域上发生成像处理。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 成像 | ||
【主权项】：
一种用于对基板进行光学成像的方法，所述方法包括：设置基板；将液体光聚合物沉积到所述基板的至少一部分上，以在所述基板上形成液体光聚合物膜层；设置可旋转光学工具；以及相对于所述基板上的液体光聚合物膜旋转所述光学工具；其中，在所述基板上形成固化光聚合物的成像图案。
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