[发明专利]双输入干涉仪分束器倾斜控制系统及挠曲安装

摘要

在此介绍了一种作为一个干涉仪的部分以保护分束器基板免受外部应力并且因此保持光学平坦度的新型柔软分束器安装系统。由于比该分束器基板更柔韧、因此外力使支座而不是该分束器变形，该柔软安装系统能够实现这样的保护。尽管在此所披露的柔软分束器安装配置保护该分束器，但是该干涉仪本身是较不稳定的，因为本发明的支座允许该分束器与固持在该干涉仪中的其他部件相比更容易倾斜。通过使用这种便宜的柔软安装系统作为一个挠曲件，以便允许一个改进的主动控制系统来维持与常规干涉仪相比更坚固的一个系统中的倾斜对准，本发明的改进的倾斜控制实施例将这个看似有害的作用变成一个降低成本的益处。

主权项

一种双输入倾斜受控的挠曲安装的分束器干涉仪，包括：一个第一平面反射器，该第一平面反射器被配置成沿一个第一光程长度对应地接收并且返回一个源的一个第一分束；一个第二平面反射器，该第二平面反射器被配置成沿一个第二光程长度对应地接收并且返回所述源的一个第二分束；一个弹性安装的分束器，该弹性安装的分束器用于接收来自所述源的一束辐射，以便提供所述第一分束和所述第二分束；移动装置，该移动装置联接至所述弹性安装的分束器，以便提供对所述弹性安装的分束器的速度和位置控制和/或关于经配置X轴和Y轴的一个倾斜控制；以及双输入控制装置，该双输入控制装置用于向所述移动装置提供一个受控反馈，以便能够实现所述速度和位置控制和/或关于所述经配置X轴和Y轴的一个结合的倾斜控制，从而使得所述干涉仪中的一个或多个预定的平坦表面对准，并且其中所述移动装置的该速度和位置控制和/或所述倾斜控制能够进一步实现所述第一光程长度与所述第二光程长度之间的光程长度差，这些长度差结合地提供该输入源束辐射在所述干涉仪的一个经配置出口处的一个询问干涉图。