[发明专利]双输入干涉仪分束器倾斜控制系统及挠曲安装

权利要求书

1.一种双输入倾斜受控的挠曲安装的分束器干涉仪，包括：

一个第一平面反射器，该第一平面反射器被配置成沿一个第一光程长度对应地接收并且返回一个源的一个第一分束；

一个第二平面反射器，该第二平面反射器被配置成沿一个第二光程长度对应地接收并且返回所述源的一个第二分束；

一个弹性安装的分束器，该弹性安装的分束器用于接收来自所述源的一束辐射，以便提供所述第一分束和所述第二分束；

移动装置，该移动装置联接至所述弹性安装的分束器，以便提供对所述弹性安装的分束器的速度和位置控制和/或关于经配置X轴和Y轴的一个倾斜控制；以及

双输入控制装置，该双输入控制装置用于向所述移动装置提供一个受控反馈，以便能够实现所述速度和位置控制和/或关于所述经配置X轴和Y轴的一个结合的倾斜控制，从而使得所述干涉仪中的一个或多个预定的平坦表面对准，并且其中所述移动装置的该速度和位置控制和/或所述倾斜控制能够进一步实现所述第一光程长度与所述第二光程长度之间的光程长度差，这些长度差结合地提供该输入源束辐射在所述干涉仪的一个经配置出口处的一个询问干涉图。

2.如权利要求1所述的双输入倾斜受控的挠曲安装的分束器干涉仪，其中所述双输入控制装置包括一个相位倾斜控制测量系统和一个广泛范围倾斜控制测量系统。

3.如权利要求2所述的双输入倾斜受控的挠曲安装的分束器干涉仪，其中所述相位倾斜控制测量系统与所述广泛范围倾斜控制测量系统结合地使多个分束器倾斜误差下降到至少50弧度秒。

4.如权利要求2所述的双输入倾斜受控的挠曲安装的分束器干涉仪，其中所述广泛范围倾斜控制测量系统独自可以使大于约10,000弧度秒的倾斜误差减小到小于约5弧度秒，以便使得一个联接的速度伺服器电路能够开始运作。

5.如权利要求2所述的双输入倾斜受控的挠曲安装的分束器干涉仪，其中所述广泛范围倾斜控制系统被配置成在小于约1秒内是运作的，即使一个联接的速度伺服器未运作。

6.如权利要求2所述的双输入倾斜受控的挠曲安装的分束器干涉仪，其中所述干涉仪在由所述相位倾斜控制测量系统与所述广泛范围倾斜控制测量系统结合地启用时的总启动时间是小于约2秒。

7.如权利要求1所述的双输入倾斜受控的挠曲安装的分束器干涉仪，其中所述双输入控制装置进一步包括联接至一个广泛范围倾斜控制电路的一个相位测量倾斜控制电路，其中增加了所述相位测量倾斜控制电路与所述一个广泛范围倾斜控制电路二者的误差输出信号，以便使得分束器倾斜误差的减少能够到达小于约1弧度秒。

8.如权利要求7所述的双输入倾斜受控的挠曲安装的分束器干涉仪，其中所述广泛范围倾斜控制电路的增益被减小了最多达约3倍，以便使得有待增加的由所述相位测量倾斜控制电路所提供的一个误差信号能够使得所述弹性安装的分束器在没有增加的固件的情况下能够响应于两个测量系统的这些误差输出信号。

9.如权利要求1所述的双输入倾斜受控的挠曲安装的分束器干涉仪，其中所述双输入控制装置包括一个广泛范围倾斜控制测量系统，该广泛范围倾斜控制测量系统配置有选自一个非相干源、一个相干源的至少一个光源，并且其中所述双输入控制装置还包括配置有一个相干源的一个相位倾斜控制测量系统。

10.如权利要求1所述的双输入倾斜受控的挠曲安装的分束器干涉仪，其中所述弹性安装的分束器包括被安排在所述分束器的周边周围的一个挠曲膜。

11.如权利要求1所述的双输入倾斜受控的挠曲安装的分束器干涉仪，其中所述移动装置包括联接至所述移动分束器的一个输入面的多个永磁体，其中所述多个联接的永磁体独立地由所施加的反馈受控磁力驱动，以便提供所述弹性安装的分束器的倾斜。

12.如权利要求1所述的双输入倾斜受控的挠曲安装的分束器干涉仪，其中所述双输入控制装置被配置成使得所述受控磁力能够提供所述弹性安装的分束器在一个X轴和/或Y轴上的、所希望的、最高达10,000约弧度秒的倾斜。