[发明专利]用于辐照表面的具有底座的辐射器有效
| 申请号： | 201180052957.5 | 申请日： | 2011-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN103189959A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 赫尔穆特·哈尔夫曼;阿克塞尔·洪巴赫;马库斯·罗特 | 申请（专利权）人： | 欧司朗股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J65/04 | 分类号： | H01J65/04;H01J5/48;H01J61/30 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张春水;高少蔚 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 为了辐照表面而提出一种具有底座（8）的辐射器（1），其中底座具有至少一个通气口（12）以用于将过程气体输送到与辐射器容器（2、3、5）相邻的空间区域中。由此，能够放弃单独的气体输送装置。可选地，辐射器容器（2、3、5）也能够具有用于输送和/或输出过程气体的隧道状的通孔（3）。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 辐照 表面 具有 底座 辐射器 | ||
【主权项】：
用于辐照表面的辐射器（1；20），具有辐射器容器（2，3，5；19）和与所述辐射器容器连接的辐射器底座（8；21），其特征在于，所述辐射器底座（8；21）具有至少一个通气口（12；23），所述至少一个通气口构成为用于将过程气体输送到与所述辐射器容器（2，3，5；19）相邻的空间区域中。
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