[发明专利]时间选通阴极发光图像的去卷积有效
| 申请号： | 201180045250.1 | 申请日： | 2011-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN103261879A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 珍·伯尼 | 申请（专利权）人： | 安托莱特公司 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225;H01J37/22 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 瞿卫军;王朋飞 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 一种产生阴极发光图像的方法，其包括以下步骤：产生强度可调节的带电粒子束；在样品上聚焦所述带电粒子束；瞬时选通由所述样品发出的阴极发光，从而提供时间选通阴极发光；针对样品上不同带电粒子束位置测量时间选通阴极发光用以产生阴极发光图像，对阴极发光图像去卷积，以改进所述阴极发光图像的分辨率。本发明还提供了实施该方法的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 时间 阴极 发光 图像 卷积 | ||
【主权项】：
一种用于产生阴极发光图的方法，其包括以下步骤：产生强度可调节的带电粒子束；在样品上聚焦所述带电粒子束；瞬时选通由所述样品发出的阴极发光，从而提供时间选通阴极发光；针对所述样品上不同带电粒子束位置，测量所述时间选通阴极发光用以产生阴极发光图；对所述阴极发光图去卷积，以改进所述阴极发光图的分辨率。
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