[发明专利]时间选通阴极发光图像的去卷积

权利要求书

1.一种用于产生阴极发光图的方法，其包括以下步骤：

产生强度可调节的带电粒子束；

在样品上聚焦所述带电粒子束；

瞬时选通由所述样品发出的阴极发光，从而提供时间选通阴极发光；针对所述样品上不同带电粒子束位置，测量所述时间选通阴极发光用以产生阴极发光图；

对所述阴极发光图去卷积，以改进所述阴极发光图的分辨率。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述阴极发光图的去卷积步骤包括以下步骤：将所述样品的至少一部分体积离散成单元体积区域；并确定由所述样品内不同单元体积发出的阴极发光。

3.如权利要求1或2所述的方法，其中所述阴极发光图的去卷积步骤还包括限定一组参数的步骤，所述参数描述所述单元体积的激发状态。

4.如上述权利要求中任一项所述的方法，其中所述阴极发光图的去卷积步骤还包括步骤，即从所述阴极发光图中消除由所述样品的单元体积产生的阴极发光影响，所述单元体积位于电子束被聚集的所述样品的横向位置上。

5.如上述权利要求中任一项所述的方法，其中对所测量的时间选通阴极发光去卷积以改进所述阴极发光图的分辨率的步骤，包括对所测量的时间选通阴极发光去卷积以改进所述阴极发光图的空间横向分辨率和/或深度分辨率的步骤。

6.如上述权利要求中任一项所述的方法，还包括对所测量的时间选通阴极发光去卷积以提供两个或更多2D阴极发光图的步骤，所述图中的每一个表示从位于所述样品的不同深度处的平面中发出的阴极发光。

7.如上述权利要求中任一项所述的方法，还包括改变所述带电粒子束的能量，从而使所述带电粒子束内的粒子穿透所述样品至不同深度的步骤。

8.如权利要求7所述的方法，还包括针对所述带电粒子束的不同能量，测量时间选通阴极发光的步骤。

9.如上述权利要求中任一项所述的方法，还包括光谱地解析阴极发光图的步骤。

10.如上述权利要求中任一项所述的方法，还包括以下步骤：在延迟周期后，测量一个或多个其它时间选通阴极发光；并将所述一个或多个其它测量的时间选通阴极发光与所述阴极发光图比较，以确定所述带电粒子是否已在所述样品中移动。

11.一种阴极发光图生成装置，其包括：

产生强度可调节的带电粒子束的电子束发生器；

将所述带电粒子束聚集在样品上的聚焦元件；

瞬时选通由所述样品发出的阴极发光的装置；

针对所述样品上的不同电子束位置，测量时间选通阴极发光的装置；和

使用所述测量的时间选通阴极发光形成阴极发光图的装置；和

对所述时间选通阴极发光图去卷积以改进所述阴极发光图的分辨率的装置。

12.如权利要求11所述的阴极发光图生成装置，其中对所述阴极发光图去卷积，以改进所述阴极发光图的分辨率的装置是被配置为对所述阴极发光图去卷积，以改进所述阴极发光图的横向空间分辨率和/或深度分辨率的装置。

13.如权利要求11或12中任一项所述的阴极发光图生成装置，还包括对所述测量的时间选通阴极发光去卷积以提供两个或更多2D阴极发光图的装置，所述2D阴极发光图中的每一个表示从处于所述样品的不同深度处的平面中发出的阴极发光。

14.如权利要求11-13中任一项所述的阴极发光图生成装置，其中所述电子束发生器包括光电阴极。

15.一种装置，其包括具有小于约1ns的循环周期的激光器、光电阴极、一个或多个电子光学透镜组、一个或多个电子偏转器、将由所述激光器产生的激光束聚焦在所述光电阴极上的透镜、选通光检测器，所述光电阴极被配置为产生响应于所述激光束的脉冲并通过所述电子光学透镜组将电子脉冲传递至样品，和所述偏转器用于聚焦和放置所述电子并激发所述样品，从而产生阴极发光，所述选通光检测器具有小于约1ns，用于选通处于不同激发点的所述阴极发光的栅，从而产生时间选通阴极发光图。