[发明专利]图案形成方法及图案形成设备

摘要

提供一种图案形成方法和图案形成装置，该方法和装置能够在使用喷墨方法来形成精细图案时通过防止图案模糊来形成满意的精细图案。该图案形成方法包括改性处理过程和液滴配置过程。在改性处理过程中，将宽度小于图案形成点（26）的直径的光束（20）引导到目标处理区域上以由此对目标处理区域进行改性。目标处理区域对应于在基板（10）的图案形成表面（10A）上形成的图案（12），并且在宽度方向上，该目标处理区域包括在图案形成表面（10A）中的图案形成区域的两侧处的外边缘。在液滴配置过程中，使用喷墨方法将功能性液体的液滴喷射并配置到包括被改性的目标处理区域的图案形成区域中。

主权项

一种图案形成方法，包括：改性处理步骤，用于根据待形成在基体的图案形成表面上的图案，将光束施加到处理目标区域上，从而在所述处理目标区域上执行改性处理，所述光束的宽度小于构成所述图案的每个点的直径，所述处理目标区域至少包括外边缘，所述外边缘位于所述图案形成表面中的待形成所述图案的区域的在宽度方向的两侧上；以及液滴沉积步骤，用于通过喷墨方法将功能性液体的液滴喷射并沉积到待形成所述图案的所述区域上，待形成所述图案的所述区域包括已经被执行过所述改性处理的所述处理目标区域。