[发明专利]具有用于接收膜应力的槽的电容式压力传感器

摘要

一种传感器组件，其包括壳体组件；电极装置；以及膜片，所述膜片具有固定到所述壳体组件的固定部分和响应于施加到所述膜片相对两侧上的压差可相对于所述电极装置移动的活动部分。所述膜片的固定部分相对于所述壳体组件的至少一部分而固定于一个或多个位置处；以及至少一个槽在所述膜片相对于所述壳体组件固定的多个位置和活动部分之间形成于所述膜片的固定部分内，以便减小所述膜片的活动部分上的任何应力。还公开了所述传感器组件的构建方法。

主权项

一种电容传感器组件，其布置成相对于参考压力来测量压力，所述电容传感器组件包括：壳体组件；电极装置，其布置成相对于所述壳体组件牢固地固定；以及挠性膜片，所述挠性膜片具有（a）活动部分和（b）相对于所述壳体组件固定在一个或多个位置处的固定部分；其中，所述壳体组件以彼此间隔开的关系支撑着所述膜片和电极装置，使得所述膜片的活动部分响应于施加到所述膜片的活动部分相对两侧上的压差而相对于所述电极装置挠曲；以及其中，所述膜片包括在所述挠性膜片相对于所述壳体组件固定的多个位置和活动部分之间的至少一个槽，以便减小所述膜片的活动部分上的任何应力。