[发明专利]具有用于接收膜应力的槽的电容式压力传感器

权利要求书

1.一种电容传感器组件，其布置成相对于参考压力来测量压力，所述电容传感器组件包括：

壳体组件；

电极装置，其布置成相对于所述壳体组件牢固地固定；以及

挠性膜片，所述挠性膜片具有（a）活动部分和（b）相对于所述壳体组件固定在一个或多个位置处的固定部分；

其中，所述壳体组件以彼此间隔开的关系支撑着所述膜片和电极装置，使得所述膜片的活动部分响应于施加到所述膜片的活动部分相对两侧上的压差而相对于所述电极装置挠曲；以及

其中，所述膜片包括在所述挠性膜片相对于所述壳体组件固定的多个位置和活动部分之间的至少一个槽，以便减小所述膜片的活动部分上的任何应力。

2.根据权利要求1所述的电容传感器组件，其特征在于，所述槽与所述膜片的活动部分的一侧流体连通。

3.根据权利要求2所述的电容传感器组件，其特征在于，所述壳体组件被如此构造以至于在所述膜片活动部分的一侧上包括用于容纳参考气体的参考腔室，以及在所述活动部分的另一侧上包括用于容纳其压力有待相对于参考气体来测量的气体的测量腔室。

4.根据权利要求3所述的电容传感器组件，其特征在于，所述参考气体处于环境压力下，且进一步包括用于将处于环境压力下的气体引入到所述参考腔室内的入口。

5.根据权利要求3所述的电容传感器组件，其特征在于，所述参考气体处于预定压力下，且进一步包括用于将处于参考压力下的气体引入到所述参考腔室内的入口。

6.根据权利要求3所述的电容传感器组件，其特征在于，所述参考腔室和测量腔室通过密封彼此隔离开来。

7.根据权利要求6所述的电容传感器组件，其特征在于，所述电极装置固定于所述参考腔室内。

8.根据权利要求7所述的电容传感器组件，其特征在于，所述电极装置包括一个环形电极和一个中心电极，所述环形电极和中心电极的每一个相对于所述膜片的活动部分间隔开预定距离。

9.根据权利要求3所述的电容传感器组件，其特征在于，所述槽与参考腔室流体连通。

10.根据权利要求1所述的电容传感器组件，还包括环形间隔件，其相对于所述膜片和电极装置固定，以便将所述膜片和电极装置之间的间距保持在预定距离，这样所述活动部分相对于所述电极装置通过施加于所述膜片活动部分相对两侧上压差的预定范围而挠曲。

11.根据权利要求10所述的电容传感器组件，其特征在于，所述间隔件如此形成以至于允许所述膜片的槽的至少一部分与所述膜片的活动部分的一侧流体连通。

12.根据权利要求11所述的电容传感器组件，其特征在于，所述膜片的槽和所述膜片的活动部分的一侧容纳参考气体。

13.根据权利要求12所述的电容传感器组件，其特征在于，所述参考气体处于环境压力下。

14.根据权利要求12所述的电容传感器组件，其特征在于，所述参考气体处于参考压力下。

15.根据权利要求11所述的电容传感器组件，其特征在于，所述间隔件包括多个槽，每个槽与所述膜片的槽对准，从而允许所述间隔件的槽与膜片的槽流体连通。

16.根据权利要求1所述的电容传感器组件，其特征在于，所述膜片完全围绕所述膜片的固定部分而固定到所述壳体组件，以及所述膜片中的槽为环形槽。

17.根据权利要求16所述的电容传感器组件，还包括环形间隔件，其相对于所述膜片和电极装置固定，以便将所述膜片和电极装置之间的间距保持在预定距离，这样所述活动部分相对于电极装置通过施加于膜片活动部分相对两侧上压差的预定范围而挠曲，所述间隔件包括多个槽，每个槽与所述膜片的环形槽对准，从而允许所述膜片的槽与所述膜片的活动部分的一侧流体连通。