[发明专利]研磨剂和研磨方法无效
| 申请号： | 201180033927.X | 申请日： | 2011-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN102985508A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 吉田有衣子 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯莉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及用于研磨研磨对象物（1）的被研磨面的研磨剂（5），其含有：平均一次粒径为5～20nm的第一氧化硅微粒、平均一次粒径为40～110nm的第二氧化硅微粒和水，且所述第一氧化硅微粒在所述第一氧化硅微粒和第二氧化硅微粒的总量中占的比例为0.7～30质量％。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨剂 研磨 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨剂，用于研磨研磨对象物的被研磨面，含有：平均一次粒径为5～20nm的第一氧化硅微粒、平均一次粒径为40～110nm的第二氧化硅微粒和水，且所述第一氧化硅微粒在所述第一氧化硅微粒和第二氧化硅微粒的总量中占的比例为0.7～30质量％。
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