[发明专利]微波驱动等离子体光源有效
| 申请号： | 201180033156.4 | 申请日： | 2011-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN103119690A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | A·S·尼特;B·普勒斯顿 | 申请（专利权）人： | 塞拉维申有限公司 |
| 主分类号： | H01J65/04 | 分类号： | H01J65/04 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 英国米尔*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种透明波导微波等离子体光源（LWMPLS）的透明坩埚以熔融石英的坩埚（1）的形式包括发光谐振器（LER），坩埚（1）具有中央的中空（2），中空（2）的内部具有微波可激发材料（3）。在一个例子中，中空直径为4mm，长度（L）为21mm。LWMPLS以280W的功率（P）操作，由此具有133W/cm的等离子体载荷和106W/cm2的壁载荷。由此，灯以高效能——以流明每瓦特为单位——操作，同时具有合理的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 驱动 等离子体 光源 | ||
【主权项】：
一种透明波导微波等离子体光源，具有中空长度L和额定功率P，其中：·所述额定功率除以所述中空长度所得到的等离子体载荷，即P/L是至少100W/cm，所述中空长度是整个中空长度减去所述中空的中央部分的半径的二倍。
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