[发明专利]微波驱动等离子体光源有效
| 申请号： | 201180033156.4 | 申请日： | 2011-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN103119690A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | A·S·尼特;B·普勒斯顿 | 申请（专利权）人： | 塞拉维申有限公司 |
| 主分类号： | H01J65/04 | 分类号： | H01J65/04 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 英国米尔*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微波 驱动 等离子体 光源 | ||
【权利要求书】：
1.一种透明波导微波等离子体光源，具有中空长度L和额定功率P，其中：
·所述额定功率除以所述中空长度所得到的等离子体载荷，即P/L是至少100W/cm，
所述中空长度是整个中空长度减去所述中空的中央部分的半径的二倍。
2.根据权利要求1所述的透明波导微波等离子体光源，其中所述等离子体载荷是至少125W/cm。
3.根据权利要求1所述的透明波导微波等离子体光源，其中所述等离子体载荷是至少140W/cm。
4.根据权利要求1或2或3所述的透明波导微波等离子体光源，其中所述等离子体中空直接位于所述透明坩埚中。
5.根据权利要求1或2或3所述的透明波导微波等离子体光源，其中所述等离子体中空在透明波导内的透明灯泡中。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的透明波导微波等离子体光源，其中：
·所述额定功率除以所述中空的内部表面面积所得到的壁载荷在100W/cm2和300W/cm2之间，
所述内部表面面积是中央部分距离中空的各端部一个半径之间被测量的部分。
7.根据权利要求6所述的透明波导微波等离子体光源，其中所述壁载荷在125W/cm2和300W/cm2之间。
8.根据权利要求7所述的透明波导微波等离子体光源，其中所述壁载荷在150W/cm2和250W/cm2之间。
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