[发明专利]光电转换装置有效
| 申请号: | 201180032232.X | 申请日: | 2011-02-17 |
| 公开(公告)号: | CN102959720A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
| 发明(设计)人: | 西村和仁;奈须野善之;中野孝纪 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
| 主分类号: | H01L31/04 | 分类号: | H01L31/04 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 岳雪兰 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明的光电转换装置,其具有衬底(1)和设置在衬底(1)的表面上的pin型光电转换层(11、12),pin型光电转换层(11、12)包括p型半导体层(3)、非晶半导体层即i型半导体层(4)、与n型半导体层(5)层叠的第一pin型光电转换层(11),第一pin型光电转换层(11)具有位于衬底(1)的一部分的表面上的第一部分和位于衬底(1)的另一部分的表面上的第二部分,第一部分的从氧、氮及碳中选择的至少一个杂质元素的浓度比第二部分的杂质元素的浓度高,第一部分的厚度比第二部分的厚度薄。 | ||
| 搜索关键词: | 光电 转换 装置 | ||
【主权项】:
一种光电转换装置,其特征在于,具有:衬底(1);设置在所述衬底(1)的表面上的pin型光电转换层(11、12),所述pin型光电转换层(11、12)包括:p型半导体层(3);非晶半导体层即i型半导体层(4);与n型半导体层(5)层叠的第一pin型光电转换层(11),所述第一pin型光电转换层(11)具有:位于所述衬底(1)的一部分的表面上的第一部分;位于所述衬底(1)的另一部分的表面上的第二部分,所述第一部分的从氧、氮及碳中选择的至少一个杂质元素的浓度比所述第二部分的所述杂质元素的浓度高,所述第一部分的厚度比所述第二部分的厚度薄。
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