[发明专利]光电转换装置

权利要求书

1.一种光电转换装置，其特征在于，具有：衬底（1）；设置在所述衬底（1）的表面上的pin型光电转换层（11、12），

所述pin型光电转换层（11、12）包括：p型半导体层（3）；非晶半导体层即i型半导体层（4）；与n型半导体层（5）层叠的第一pin型光电转换层（11），

所述第一pin型光电转换层（11）具有：位于所述衬底（1）的一部分的表面上的第一部分；位于所述衬底（1）的另一部分的表面上的第二部分，

所述第一部分的从氧、氮及碳中选择的至少一个杂质元素的浓度比所述第二部分的所述杂质元素的浓度高，

所述第一部分的厚度比所述第二部分的厚度薄。

2.如权利要求1所述的光电转换装置，其特征在于，

所述第一部分位于所述衬底（1）的表面的周缘区域上，

所述第二部分位于比所述周缘区域更靠所述衬底（1）的表面的内侧的区域即中心区域上。

3.如权利要求2所述的光电转换装置，其特征在于，

将所述衬底（1）的表面的中心点作为A点，

将所述衬底（1）的表面的外周上的任意一点作为B点，

将连结所述A点和所述B点得到的线段AB内分成0.115:0.655:0.23的点从所述A点一侧开始按顺序作为C点、D点时，

固定所述A点使所述B点在所述衬底（1）的表面的外周上围绕一周时，将所述B点的轨道和所述D点的轨道之间的区域作为所述周缘区域，

将所述C点的轨道的内侧的区域作为所述中心区域，

设所述第二部分的平均厚度为Da，设所述第一部分的平均厚度为Db时，满足下述式（I）：

0.76Da≤Db≤0.91Da…（I）。

4.如权利要求2或3所述的光电转换装置，其特征在于，

将所述衬底（1）的表面的中心点作为A点，

将所述衬底（1）的表面的外周上的任意一点作为B点，

将连结所述A点和所述B点得到的线段AB内分成0.115:0.655:0.23的点从所述A点一侧开始按顺序作为C点、D点时，

固定所述A点使所述B点在所述衬底（1）的表面的外周上围绕一周时，将所述B点的轨道和所述D点的轨道之间的区域作为所述周缘区域，

将所述C点的轨道的内侧的区域作为所述中心区域，

设所述第二部分的氧浓度为Pa（O），设所述第一部分的氧浓度为Pb（O）时，满足下述式（II）：

3.5Pa（O）≤Pb（O）…（II）。

5.如权利要求2~4中任一项所述的光电转换装置，其特征在于，

将所述衬底（1）的表面的中心点作为A点，

将所述衬底（1）的表面的外周上的任意一点作为B点，

将连结所述A点和所述B点得到的线段AB内分成0.115:0.655:0.23的点从所述A点一侧开始按顺序作为C点、D点时，

固定所述A点使所述B点在所述衬底（1）的表面的外周上围绕一周时，将所述B点的轨道和所述D点的轨道之间的区域作为所述周缘区域，

将所述C点的轨道的内侧的区域作为所述中心区域，

设所述第一部分的氧浓度为Pb（O）时，满足下述式（III）：

Pb（O）≧1×10²⁰［atoms/cm³］…（III）。

6.如权利要求2~5中任一项所述的光电转换装置，其特征在于，

将所述衬底（1）的表面的中心点作为A点，

将所述衬底（1）的表面的外周上的任意一点作为B点，

将连结所述A点和所述B点得到的线段AB内分成0.115:0.655:0.23的点从所述A点一侧开始按顺序作为C点、D点时，

固定所述A点使所述B点在所述衬底（1）的表面的外周上围绕一周时，将所述B点的轨道和所述D点的轨道之间的区域作为所述周缘区域，

将所述C点的轨道的内侧的区域作为所述中心区域，

设所述第二部分的氮浓度为Pa（N），设所述第一部分的氮浓度为Pb（N）时，满足下述式（IV）：

5Pa（N）≦Pb（N）…（IV）。