[发明专利]使用分子氟的化学气相沉积腔室清洁无效
| 申请号： | 201180028784.3 | 申请日： | 2011-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN102958622A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | J-C·西高;黄应享;P·A·斯托克曼;R·霍格尔;S·彼得里 | 申请（专利权）人： | 琳德股份公司 |
| 主分类号： | B08B9/00 | 分类号： | B08B9/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及使用分子氟作为清洁物质清洁PECVD腔室的方法和设备。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 分子 化学 沉积 清洁 | ||
【主权项】：
一种清洁化学气相沉积腔室的方法，该方法包括：将分子氟引入所述腔室中；使所述分子氟与所述腔室中不希望有的沉积物反应；以及排除所述腔室中的气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于琳德股份公司，未经琳德股份公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180028784.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
