[发明专利]旋转编码器、旋转马达以及旋转马达系统

摘要

本发明提供一种旋转编码器、旋转马达以及旋转马达系统，其中通过使用衍射干涉光能以提高的检测精度检测原点的位置，并利于减小尺寸以及制造等。编码器包括：圆盘形的盘（110），所述盘能绕旋转轴线旋转地布置，并且具有一个呈环形的轨迹（TC），在该轨迹上分别形成有旋转光栅，该盘具有在其一部分中形成的一个或多个原点检测区域（h）；以及以固定方式面向盘（110）设置的掩模，在所述掩模中形成有两个或更多个固定光栅，以便与所述旋转光栅一起构成衍射干涉光学系统。包括在至少一个旋转光栅中的多个狭缝（SLA，SLB）沿弯曲线形成，该弯曲线是使以该旋转轴线为中心的多条放射状线以预定的曲率沿周向方向弯曲而形成的；狭缝（SLA，SLB）形成为使得狭缝（SLA，SLB）的间距（pLA，pLB）可被设定为预定的值。

主权项

一种旋转编码器，该旋转编码器包括：呈盘形的盘，所述盘以能绕旋转轴线旋转的方式设置，并且包括一个或多个环形的轨迹，在所述轨迹上在整个圆周上形成光学旋转光栅，所述盘还包括作为部分区域的一个或多个原点检测区域，在所述原点检测区域上形成有光学旋转光栅，并且所述原点检测区域从所述旋转轴线偏移；以面向所述盘的方式设置并固定的掩模，在所述掩模上形成有两个或更多个光学固定光栅，所述固定光栅能与所述轨迹的旋转光栅一起并能与所述原点检测区域的旋转光栅一起构成衍射干涉光学系统；以及原点信号生成器，所述原点信号生成器基于以下周期信号生成表示所述盘的原点位置的原点信号，所述周期信号是指从包括所述原点检测区域的旋转光栅的衍射干涉光学系统在所述盘的单次旋转中部分获得的周期信号、以及从包括所述轨迹的旋转光栅的衍射干涉光学系统在该单次旋转的全周上获得的周期信号；其中，所述原点检测区域的旋转光栅中所包括的多个狭缝为倾斜狭缝或者弯曲狭缝，使得这些狭缝之间的间距与所述轨迹的旋转光栅中所包括的多个狭缝之间的间距相等，所述倾斜狭缝以相对于绕所述旋转轴线的放射状线沿周向方向倾斜的方式形成，所述弯曲狭缝相对于绕所述旋转轴线的放射状线沿周向弯曲。