[发明专利]旋转编码器、旋转马达以及旋转马达系统

权利要求书

1.一种旋转编码器，该旋转编码器包括：

呈盘形的盘，所述盘以能绕旋转轴线旋转的方式设置，并且包括一个或多个环形的轨迹，在所述轨迹上在整个圆周上形成光学旋转光栅，所述盘还包括作为部分区域的一个或多个原点检测区域，在所述原点检测区域上形成有光学旋转光栅，并且所述原点检测区域从所述旋转轴线偏移；

以面向所述盘的方式设置并固定的掩模，在所述掩模上形成有两个或更多个光学固定光栅，所述固定光栅能与所述轨迹的旋转光栅一起并能与所述原点检测区域的旋转光栅一起构成衍射干涉光学系统；以及

原点信号生成器，所述原点信号生成器基于以下周期信号生成表示所述盘的原点位置的原点信号，所述周期信号是指从包括所述原点检测区域的旋转光栅的衍射干涉光学系统在所述盘的单次旋转中部分获得的周期信号、以及从包括所述轨迹的旋转光栅的衍射干涉光学系统在该单次旋转的全周上获得的周期信号；

其中，所述原点检测区域的旋转光栅中所包括的多个狭缝为倾斜狭缝或者弯曲狭缝，使得这些狭缝之间的间距与所述轨迹的旋转光栅中所包括的多个狭缝之间的间距相等，所述倾斜狭缝以相对于绕所述旋转轴线的放射状线沿周向方向倾斜的方式形成，所述弯曲狭缝相对于绕所述旋转轴线的放射状线沿周向弯曲。

2.根据权利要求1所述的旋转编码器，其中

所述原点检测区域的形成所述弯曲狭缝的各狭缝沿一弯曲线形成，使得这些狭缝之间的间距与所述轨迹的狭缝之间的间距相等，该弯曲线是通过使各所述放射状线沿周向方向以预定的曲率弯曲而得到的。

3.根据权利要求2所述的旋转编码器，其中

所述盘包括两个或更多个所述原点检测区域，并且

将在所述原点检测区域的第一原点检测区域的多个狭缝中的关于放射状线的曲率设定为与在所述原点检测区域的第二原点检测区域的多个狭缝中的关于放射状线的曲率不同的值，使得这些狭缝之间的间距与所述第二原点检测区域的多个狭缝之间的间距相等。

4.根据权利要求3所述的旋转编码器，其中，所述第一原点检测区域的狭缝的弯曲方向与所述第二原点检测区域的狭缝的弯曲方向相反。

5.根据权利要求3所述的旋转编码器，其中，所述第一原点检测区域与所述第二原点检测区域在周向方向上并排设置。

6.根据权利要求2所述的旋转编码器，其中，与沿所述弯曲线形成有所述狭缝的所述原点检测区域对应的所述固定光栅以平行于所述弯曲线的切线的方式形成。

7.根据权利要求1所述的旋转编码器，其中，所述原点检测区域的旋转光栅与和其对应的所述固定光栅之间的间隙等于所述轨迹的旋转光栅与和其对应的所述固定光栅之间的间隙。

8.根据权利要求1所述的旋转编码器，其中

所述轨迹的旋转光栅中所包括的多个狭缝与所述原点检测区域的旋转光栅中所包括的多个狭缝是反射狭缝，并且

与所述旋转光栅对应的两个所述固定光栅设置在所述盘的同一表面侧。