[发明专利]二硼化钛靶子有效
| 申请号： | 201180021702.2 | 申请日： | 2011-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN102869807A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | M·欧苏利文 | 申请（专利权）人： | 攀时欧洲公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;C22C29/14 |
| 代理公司： | 广西南宁明智专利商标代理有限责任公司 45106 | 代理人： | 黎明天 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及一种二硼化钛靶子，所述靶子包括一种或多种金属的片断，所述金属选自由以下物质组成的群组：铁、镍、钴以及铬；并且所述靶子还包括碳。根据本发明，TiB2粒子的平均粒度介于1μm到20μm之间，碳含量介于重量比为0.1％到5％的范围内，并且Fe、Ni、Co及/或Cr的总含量介于500μg/g到3000μg/g的范围内。碳以自由形态分布在TiB2粒子的粒子边界，使得各个碳颗粒之间的平均距离小于20μm。孔隙率为体积比小于5％。 | ||
| 搜索关键词： | 二硼化钛 靶子 | ||
【主权项】：
一种用于物理气相沉积的二硼化钛靶子，其包括一种或多种金属的片断，所述金属选自由以下物质组成的群组：铁、镍、钴以及铬；并且所述靶子还包括碳，其特征在于：TiB2粒子的平均粒度介于1μm到20μm之间；碳含量介于重量比为0.1％到5％的范围内；Fe、Ni、Co及/或Cr的总含量介于500μg/g到3000μg/g的范围内；碳以自由形态分布在TiB2粒子的粒子边界，使得各个碳颗粒之间的平均距离小于20μm；孔隙率为体积比小于5％。
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