[发明专利]二硼化钛靶子

权利要求书

1.一种用于物理气相沉积的二硼化钛靶子，其包括一种或多种金属的片断，所述金属选自由以下物质组成的群组：铁、镍、钴以及铬；并且所述靶子还包括碳，其特征在于：

TiB₂粒子的平均粒度介于1μm到20μm之间；

碳含量介于重量比为0.1％到5％的范围内；

Fe、Ni、Co及/或Cr的总含量介于500μg/g到3000μg/g的范围内；

碳以自由形态分布在TiB₂粒子的粒子边界，使得各个碳颗粒之间的平均距离小于20μm；

孔隙率为体积比小于5％。

2.根据权利要求1所述的二硼化钛靶子，其特征在于，所述碳含量介于重量比为0.5％到3％的范围内。

3.根据权利要求1或2所述的二硼化钛靶子，其特征在于，TiB₂粒子的平均粒度介于2μm到10μm之间。

4.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的二硼化钛靶子，其特征在于，其包含的Fe含量介于从1000μg/g到2000μg/g的范围内。

5.一种用于生产根据权利要求1到3中任一权利要求所述的二硼化钛靶子的方法，其特征在于，TiB₂粉末和石墨粉末的起始粉末混合物在研磨组件中使用研磨珠粒进行研磨，研磨珠粒包括选自由以下物质组成的群组的一种或多种金属：Fe、Ni、Co以及Cr，研磨直到Fe、Ni、Co及/或Cr的总量介于从500μg/g到3000μg/g的范围内为止；以及其特征在于，对完全研磨好的粉末混合物进行的压缩使用的方法是热压法，压制压力介于从10MPa到40MPa的范围内，并且温度介于从1600℃到2000℃的范围内。

6.一种用于生产根据权利要求4所述的二硼化钛蒸发源的方法，其特征在于，TiB₂粉末和石墨粉末的起始粉末混合物在磨碎机中使用研磨铁珠进行研磨直到铁含量介于从1000μg/g到2000μg/g的范围内，以及特征在于，对研磨好的粉末混合物进行的压缩使用的方法是热压法，压制压力介于从25MPa到35MPa的范围内，并且温度介于从1600℃到1850℃的范围内。